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气相沉积炉

  • 工作炉: 1600℃
  • 控温精度: ≤±10℃
  • 升温速度: 室温~1600℃,150分钟
  • 额定电源: 3相 AC380 50Hz
  • 极限真空度: ≤6.67Pa
  • 真空压升率: ≤0.67Pa/h
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1、用途
    本系列真空气相沉积炉专门针对于多孔材料(C/C材料)、硅/碳复合材料、负极材料表面改性包覆等化学气相沉积处理,也适用于制备各种特殊力学性能(如超硬、高耐蚀、耐热和抗氧化等)的薄膜涂层及功能薄膜材料。分卧式与立式两种炉型结构。

2、特点
均匀的加热、可靠的隔热及测温:
    合理的热场设计,优良的材质,品牌测控温元件,保证真空状态下炉温的均匀性。
超强的过滤,收尘处理效果:
    能针对不同的副产品进行喷淋、冷凝捕集、尾气燃烧等处理,如高腐蚀性尾气(HCl等)、易燃性尾气(CO\H2)、固体粉尘尾气(碳粉等)、低熔点粘性产物(沥青、树脂等)等
  收尘系统采用我司独特结构成,积储尘、过滤、粗净化、精净化等多种功能于一体的收尘系统。
完善有真空系统:
    保证在任何状态下,真空的密封性。
    炉内压力实现定值或程序控制,实现分压烧结,改善产品致密性及质量。
先进的自动控制及可靠的安全联锁:
    以进口智能化温控仪、可控硅电压调整器、低压变压器、无纸纪录仪为核心构成包括供电、控制、监视、纪录、报警保护功能在内的电控系统。
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产品型号 SY-CVD8/10 SY-CVD13/15 SY-CVD18/25 SY-CVD13/13/20 SY-CVD15/15/20
工作炉温 1600℃
控温精度 ≤±10℃
升温速度 室温~1600℃,150分钟
额定电源 3相 AC380 50Hz
极限真空度 ≤6.67Pa
真空压升率 ≤0.67Pa/h
抽气时间 大气压至10Pa,10分钟
脱脂工艺 N2、Ar负压
烧结工艺 真空、气氛烧结
冷却工艺 真空、强制(86KPa)
工作区尺寸
(W×H×L)
Φ800×1000mm Φ1300×1500mm Φ1800×2500mm 1300×1300×2000mm 1500×1500×2000mm
控温配置 采用日本SHIMADEN/英国EUROTHERM可编程调节器
真空配置 旋片式真空泵/滑阀泵+罗茨真空泵
根据客户需要,可升级配置
可配PLC可编程控制器及图形操作终端(触摸屏)控制系统。
 

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